近日，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（简称国家02专项）重大专项实施管理办公室公布了02专项2017年度项目立项结果，由河南科技大学材料科学与工程学院教授王广欣千人专家团队联合宁波江丰电子材料有限公司、宁波创润有限公司申报的子课题“超高纯Co金属材料产业化技术研发”成功获批。
国家02专项是《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020）》中确定的16个重大专项之一，是《中国制造2025》的重要内容。专项通过极大规模集成电路制造装备及成套工艺等核心技术突破和优势资源集成，旨在实现极大规模集成电路国产化。
“超高纯Co金属材料产业化技术研发”子课题的实施将进一步巩固学校在高纯材料及溅射靶材研究领域的优势与特色，有利于促进学校在电子功能材料相关平台建设和科研水平的提升，有助于提高人才培养的质量，为打破国外对超大规模集成电路制备技术垄断贡献智慧和力量。
（河南科技大学 供稿）
