郑州准“独角兽”攻克靶材“卡脖子”难题

策划 社区互动运营中心 执行 大河报·豫视频记者 杨光 文图

9月21日，大河报·豫视频推出“探秘‘独角兽’”系列策划首篇报道后，引发不少市民对“独角兽”企业的兴趣和关注。半导体一直是我国的“卡脖子”技术，而郑州有一家准“独角兽”企业，攻克了微电子芯片用高端靶材等关键材料及核心设备中多项国产化技术难点，产品已实现国产化量产，开展国产化替代，极大地填补了国内市场空白。就在近日，郑州市市长何雄专门会见了该企业掌门人，对有关项目合作事宜进行深入交流。这家企业能否成长为“独角兽”企业?它的产品对我们的生活又会带来哪些影响?

靶材是芯片制作工艺里不可或缺的材料

老百姓常说的芯片，其实是半导体元件产品的统称，是集成电路通过设计、制造、封装、测试后形成的独立载体，在我们日常生活中应用十分广泛，小到身份证、银行卡、手机、电脑，大到飞机、航母、卫星都离不开它。

而在芯片制作工艺里，靶材作为其中不可或缺的材料，起着至关重要的作用，其在芯片上充当传递信息的金属导线，直径为纳米级别，将芯片内部数百亿个微型晶体管连接起来。然而就是这样一种关键原材料，目前国产化率不足10%。

而郑州这家攻克微电子芯片用高端靶材等关键材料及核心设备中多项国产化技术难点的企业，就是位于航空港区的河南东微电子材料有限公司。该公司CEO赵泽良告诉大河报记者，随着5G、人工智能、新能源汽车、云计算等应用领域快速发展，对芯片需求不断提升，半导体产能持续紧张，半导体产业也已上升至国家战略的高度，成为我国信息产业和网络安全最核心的事情。该公司做的正是对微电子芯片用的靶材、零部件和设备进行研发、生产、销售。“芯片用的靶材是一种高附加值的特种电子材料，行业壁垒较高。其他国家从中国购买原矿材料加工后，往往再以千倍价格卖给中国企业，中国科技的发展很容易被对方‘卡脖子’。”

致力于为我国解决半导体“卡脖子”难题

“比如你看的这个直线电机，利用它形成一个磁悬浮把硅片浮起来，硅片在没有任何接触的情况下通过去，并在上面进行光刻，全程无接触移动，这个零件生产的技术在国内来说算一个痛点，它是一个很尖端很精密的零部件，我们目前已经研发并生产了出来。”赵泽良说。

据了解，2019年，国家发改委修订发布《产业结构调整指导目录(2019年本)》，鼓励发展高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等新型电子元器件。2021年工信部发布《重点新材料首批次应用示范指导目录(2021版)》，其中推荐发展超高纯化学试剂、特种气体、集成电路用光刻胶及其关键原材料和配套试剂等多种半导体材料。国家在政策方面引导和鼓励半导体材料的发展，指明了半导体材料产业发展的重点方向。

“这些耗材、设备零部件能够实现国产化，中国就能少用国外的资源，被制裁的可能性也就会减少。”赵泽良说，东微电子的目标是为中国半导体解决“卡脖子”难题，并打造高端集成电路制造用材料和设备零部件一站式服务平台。

目前，东微电子已攻克微电子芯片用高端靶材等关键材料及核心设备中多项国产化技术难点，产品已实现国产化量产，并持续为中芯国际等客户供货，开展国产化替代，极大地填补了国内市场空白。

5年成为准“独角兽”

8月底，郑州市政府组织召开郑州市“独角兽”企业发布暨发展座谈会，“独角兽”成为郑州企业界讨论的热点，除公布的致欧家居科技股份有限公司、超聚变数字技术有限公司2家“独角兽”企业之外，河南东微电子材料有限公司、郑州远度科技有限公司等荣膺郑州准“独角兽”企业。

记者了解到，河南东微电子材料有限公司2018年落户郑州航空港实验区，成立以来得到多家知名投资公司青睐，已获得多轮融资。目前在上海(金山)、北京(亦庄信创园)等地设立有研发生产基地，今年8月，通过了工信部国家级专精特新“小巨人”企业认定。

人才储备很重要

赵泽良说，丰富的人才储备是东微电子快速发展的基石，其核心技术、管理团队均为海归博士，不仅学历高，更重要的是研发能力突出，在贸易战、芯片战中敢于攻坚克难、敢于承担奉献。

据悉，东微电子董事长王永超有超过20年的微电子行业产业经验，在美国英特尔公司最核心的整合部门任职超过10年，拥有丰富的微电子材料、设备和工艺整合经历。作为CEO的赵泽良，硕士毕业于中国科学院金属研究所，博士毕业于新加坡国立大学材料科学与工程系，海外工作期间，作为新加坡贺利氏公司Ru靶材制造项目全球工艺负责人，拥有多年磁控溅射靶材研发及制造技术经验。

截至2022年4月，东微电子申请专利92件，其中发明专利14件，实用新型专利78件;其中已授权发明专利3件，已授权实用新型专利71件。在关键靶材方面，东微电子是MRAM靶材国内唯一供货商。同时，与中科院、清华大学、郑州大学、广东季华实验室等科研机构、高校谋划建立合作实验室。

公司发展速度超预期

赵泽良介绍，目前公司发展速度比预期更快，“一开始我们计划2019年到2021年制造原材料，2022年到2025年开始供应设备精密零部件，但在发展中，去年就步入第二阶段，原计划到2025年进行的微电子生产设备也已提前在做”。

记者了解到，目前东微电子正在布局产业链，郑州市是其总部，东微电子未来的发展也将对整个河南微电子行业起到带动作用。

赵泽良坦言，企业短短几年在领域内走到头部，与良好的营商环境以及政府大力扶持是分不开的，不论是场地、招引高端人才，又或者是项目谋划布局、洽谈签约、落地建设，都需要政府部门的扶持。下一步，东微电子也将集中力量加快项目建设，为郑州国家中心城市现代化建设贡献力量。